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강우석 교수

Kang Woo Seok

INFO

  • 소속캠퍼스한국기계연구원
  • 전공 환경에너지기계공학
  • 연락처042-868-7435
  • 출신전공에너지시스템공학
  • 학위박사
  • 최종출신대학서울대학교
  • 이메일

연구분야

반도체/디스플레이/환경/에너지 플라즈마 공정, 플라즈마 시뮬레이션, 플라즈마 진단, 플라즈마 발생장치 개발

plasma process, plasma simulation, plasma diagnostics, plasma source development

대표연구실적

-  Surface streamer propagations on an alumina bead: Experimental observation and numerical modeling, Plasma Sources Science and Technology (2018) -  Interactions between helium plasma jets and electrolytes at different driving voltages, Plasma Chemistry and Plasma Processing (2016) -  Effect of voltage polarity on the plasma-liquid interactions, Appl. Phys. Lett. (2015)

논문(최근 5년)

-  Negative surface streamers propagating on TiO2 and γ-Al2O3 supported Ag Catalysts: ICCD imaging and Modeling Study[JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS,2018-05-25] -  Surface streamer propagations on an alumina bead: Experimental observation and numerical modeling[PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2018-01-31] -  Growth mechanism of Al2O3 film on an organic layer in plasma-enhanced atomic layer deposition[JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS,2018-01-31] -  Effect of atmospheric-pressure plasma treatment on the adhesion properties of a thin adhesive layer in a selective transfer process[APPLIED SURFACE SCIENCE,2017-09-29] -  Working gas effect on properties of Al2O3 film in plasma-enhanced atomic layer deposition[THIN SOLID FILMS,2016-11-30] -  Effects of pressure and electrode length on the abatement of N2O and CF4 in a low-pressure plasma reactor[PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING,2016-11-30] -  Interactions between helium plasma jets and electrolytes at different driving voltages[PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING,2016-07-31] -  Influence of working pressure on the Al2O3 film properties in plasma-enhanced atomic layer deposition[PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING,2016-03-31] -  Abatement characteristics of N2O in low-pressure plasma reactor[PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY,2016-02-28] -  Achieving uniform layer deposition by atmospheric-pressure plasma-enhanced chemical vapor deposition[THIN SOLID FILMS,2015-12-31] -  Effect of voltage polarity on the plasma-liquid interactions[APPLIED PHYSICS LETTERS,2015-08-31] -  Low-pressure plasma after-treatment of pollutants emitted during semiconductor manufacturing[PLASMA PROCESSES AND POLYMERS,2015-06-30] -  Surface treatment of polyimide substrates using dielectric barrier discharge reactors based on L-shaped electrodes[PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING,2014-11-26] -  Methane activation using Kr and Xe in a dielectric barrier discharge reactor[PHYSICS OF PLASMAS,2014-10-31] -  Low-pressure plasma reactor with a cylindrical electrode for eco-friendly processing in the semiconductor industry[PLASMA CHEMISTRY AND PLASMA PROCESSING,2014-04-30] -  Characteristics of a dielectric barrier discharge reactor with two L-shaped electrodes working in helium[IEEE TRANSACTIONS ON PLASMA SCIENCE,2014-10-31] -  Controlling hydrophilicity of polymer film by altering gas flow rate in atmospheric-pressure homogeneous plasma[APPLIED SURFACE SCIENCE,2014-03-15]

특허(최근 5년)

-  친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기[2015-08-03] -  대면적 나노박막 전사장치[2015-06-04] -  산화마그네슘 나노입자들이 내장된 무색 투명 폴리이미드 필름 제조 및 이를 이용한 적층형 보호막 필름[2015-01-07] -  공기 청정 장치[2015-08-07] -  표면 처리를 위한 플라즈마 반응기 및 이를 이용한 표시 장치용 기판의 접합 방법[2014-12-31] -  플라즈마-촉매를 이용한 유해 물질 저감 장치 및 이의 운전 방법[2015-04-08] -  표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기[2015-05-08] -  유해 기체 제거를 위한 플라즈마-촉매 반응기[2015-03-04] -  축전 결합식 플라즈마 발생장치[2015-04-08] -  플라즈마 버너[2014-10-16] -  요소수 분해 장치 및 이를 이용한 배기가스 시스템[2014-12-31] -  플라즈마 에스씨알 시스템[2015-04-08] -  곡면 형상의 구동 전극을 구비한 분사형 플라즈마 발생기[2014-10-16] -  표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기[2014-07-24] -  표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기[2015-08-03] -  링거액 유량 조절기[2014-06-12] -  Plasma reactor for abatement of pollutions[2014-06-29] -  0차원, 1차원, 2차원 탄소나노물질이 균일하게 내장된 폴리이미드 필름 제조 및 이를 이용한 유연 보호막 필름[2017-07-28] -  Combustion Apparatus[2016-03-09] -  Plasma Reactor for Abatement of Hazardous Material[2017-08-01] -  The plasma reactor for abating hazardous materials[2016-10-07] -  친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기[2016-01-22] -  Plasma Reactor for Abatement of Hazardous Material[2016-10-18] -  Plasma Reactor for Abating Hazardous Material[2017-05-17] -  친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기[2016-07-18] -  Plasma Reactor for Abating Hazardous Material[2015-12-15] -  고속 표면 처리를 위한 유전체 장벽 방전 반응기[2016-04-20] -  친환경 공정을 위한 플라즈마 반응기[2016-03-24] -  플라즈마 반응기[2017-09-13] -  아크 플라즈마 반응기를 구비한 저압 공정 설비[2017-02-01] -  플라즈마 발생장치 및 플라즈마 처리 방법[2017-01-17] -  플라즈마 발생장치 및 플라즈마 처리 방법[2017-01-17] -  플라즈마 분광 분석 장치 및 플라즈마 분광 분석 방법[2017-03-08]

연구과제 수행 실적

(바우처사업) 다중센서 빅데이터를 활용한 반도체 공정장비 통합진단기술 개발 (1/1) 암 치료용 액상 플라즈마 기술 탐색 연구 (1/1) 다중센서 빅데이터를 활용한 반도체 공정장비 통합진단 기술개발 대용량 의료용 저온 플라즈마 멸균기 개발 진공플라즈마 처리기술과 진공배기 계통의 융합 시스템 개발 건물에너지를 활용하는 옥상온실형 와이즈팜 기술 개발